سامانه تجهیز دانش

سامانه تجهیز دانش در طراحی و تولید تجهیزات ساخت میکرو و نانو فعالیت دارد. سلول اچینگ، گلاوباکس، اسپین‌کوتر و تجهیزات لیتوگرافی از محصولات معرفی‌شده مجموعه هستند. کاربرد این محصولات به فراهم‌کردن زیرساخت ساخت حسگر و قطعات میکروفلوئیدیک و اجرای فرایندهای لایه‌نشانی و آماده‌سازی سطح در آزمایشگاه مربوط می‌شود.